Influence of post‑deposition annealing on the chemical states of crystalline tantalum pentoxide films
We investigate the effect of post-deposition annealing (for temperatures from 848 K to 1273 K) on the chemical properties of crystalline Ta2O5 films grown on Si(100) substrates by radio frequency magnetron sputtering. The atomic arrangement, as determined by X-ray diffraction, is predominately hexag...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , , , , , |
| Định dạng: | Artículo |
| Ngôn ngữ: | en_US |
| Được phát hành: |
2018
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1007/s00339-018-2198-9 https://doi.org/10.1007/s00339-018-2198-9 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Là người đầu tiên ghi lời nhận xét!